ZnO thin films can be deposited by various methods, such as sputtering, e-beam evaporation, spray pyrolysis, sol-gel, pulsed laser deposition (PLD), metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE), molecular beam epitaxy (MBE), atomic layer epitaxy (ALE), etc.
英
美
- 制備ZnO薄膜的方法有很多，包括：濺射方法(sputtering)、金屬有機氣相外延(MOVPE)、分子束外延(MBE)、脈沖激光沉積(PLD)、原子層外延(ALE)、等離子體加強化學(xué)氣相沉積(PECVD)、溶膠-凝膠法(soll-gel)、噴涂熱解法(spray pyrolysis)、電子束蒸發(fā)法(e-beam evaporation)等等。
