We present a FEM method for forecasting the suitable pressure on the retaining ring,which is critical in manufacturing good quality wafers.

 
  • 在晶圓外部施加保持環(huán)可以把晶圓中心處和邊緣處的拋光墊壓平到一致高度,克服晶圓邊緣的"過(guò)磨"現象。
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