W. A. Kern and C. A. Deckert, in Thin Film Processing, J. L. Vossen, ed., New York: Academic(1978).

 
  • 丁志明;方維倫等九十八人;微機電系統技術(shù)與應用;行政院國家科學(xué)委員會(huì )精密儀器發(fā)展中心出版第53頁(yè);民國92年.
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