To achieve precision positioning and large movement range,by using VCM and compliant mechanism,a precision positioning stage is designed in this paper,which can achieve high degree of accuracy in fixed movement range.

 
  • 音圈電機與柔順機構的結合,設計了一個(gè)在固定運動(dòng)范圍內具有高精度定位能力的精密定位平臺,分析了平臺參數的確定方法。
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