Timans, P. J., Morishige, R. N., and Wasserman, Y., Emissivity-independent Rapid Thermal Processing Using Radiation Shield, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 470,57-62,1997.

 
  • 黃新員“熱輻射在高速熱處理中對晶圓溫度之影響”元智大學(xué)機研所碩士論文,1997。
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