This thesis modifies the Michelson interference system to develop an optical non-contact surface measurement system with resolution improved four times of the traditional method.

 
  • 中文摘要本文以改良麥克森干涉系統再配合四分之一波片與偏光鏡的組合發(fā)展出更高解析度的光學(xué)非接觸式量測系統。
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