This paper introduces a method of deep etching of PYREX 7740 glass by one-time lithographing,multiple hardening and etching with Cr and BP-212 photoresist as etching mask.

 
  • 本文對PYREX 7740玻璃濕法刻蝕進(jìn)行研究,提出了利用鉻膜和光刻膠作為掩膜,進(jìn)行一次光刻、多次堅膜、多次腐蝕的工藝方法。
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