This paper introduced principle, process, characteristics and controlling deep slot of spiral groove movable ring of photoetching in the liquid hydrodynamic seal.

　
英 美
  • 主要介紹了流體動(dòng)力密封螺旋槽動(dòng)環(huán)光刻工藝的特點(diǎn)、原理、工藝過(guò)程、工藝流程、槽深控制方法以及應用情況,提出了采用高能束流刻蝕螺旋槽動(dòng)環(huán)的新途徑。
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