This paper describes the principle and experiment setup of AC calorimetric method for measuring thermal diffusivity of SiO 2 thin films.

 
  • 本論文從實(shí)驗角度出發(fā),采用交流量熱法對二氧化硅、氮化硅和多晶硅薄膜的熱擴散率進(jìn)行研究。
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