These results are agreement with the results of infrared absorption(IR) and Rutherford backscattering (RBS) analysis.

 
  • 表面硅-埋層的界面和埋層-體硅的界面的化學(xué)結構無(wú)明顯差異.;這些結果與紅外吸收和離子背散射譜的分析結果相一致
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