Then,the Kirchhoff scalar diffraction theory is used to derive the scatter field of the EDO grating and the simulation model is presented.

 
  • 并利用基爾霍夫標量衍射理論導出了EDG光柵散射場(chǎng)的公式,建立了對蝕刻衍射光柵的模擬模型。
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