The small processing mass spectrometer (SPMS) is an industrial processing gas component analyzing and monitoring instrument using quadrupole mass spectrometer (QMS) as its analyzer.

 
  • 摘要小型流程質(zhì)譜計是一種以四極質(zhì)譜計為分析器、對工業(yè)過(guò)程中的氣體成分進(jìn)行監控和分析的儀器。
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