The scheme can achieve 195V/pF sensitivity and IfF minimum detectable capacitance variance, which can satisfy the capacitive micromachined inertial sensors with ordinary precision.

　
英 美
  • 采用一組標定電容作為傳感器的模型進(jìn)行了實(shí)驗,實(shí)驗電路靈敏度可以達到195V/pF,最小分辨率為1fF。 采用該方案能夠滿(mǎn)足對普通精度的電容式微機械慣性傳感器信號的檢測。
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