The properties of films were detected by Raman spectroscopy, FTIR, XPS, SEM, AFM, scratch test, friction test, and indentation test.

　
英 美
  • 對所制備的DLC膜采用拉曼光譜(Raman)、傅立葉紅外透射光譜(FTIR)、X射線(xiàn)光電子能譜(XPS)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、劃痕儀、摩擦磨損儀、納米壓痕儀等方法進(jìn)行了性能測量研究。
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