The present work reports experimental determinations of atomic hydrogen in microwave discharge hydrogen plasmas formed from TM01 MW mode in an ASTeX-type reactor via optical emission spectroscopy by using Ar as an actinometer.
英
美
- 因此，對氫原子濃度的原位診斷是研究和改進(jìn)上述等離子體工藝過(guò)程的重點(diǎn)也是難點(diǎn)之一。 本文在分析了多種等離子體診斷方法后，采用了裝置簡(jiǎn)單、對等離子體沒(méi)有擾動(dòng)的發(fā)射光譜技術(shù)，通過(guò)Actinometry方法(以Ar做內標氣體)，對ASTeX型微波放電氫等離子體中的氫原子濃度進(jìn)行了原位測定。
