The optimization of a fabricated miniature microphone is presented by collecting the electrical network simulator PSPICE and the FEA(Finite Element Analysis)program ANSYS.

 
  • 綜合使用通用電路模擬軟件PSPICE和有限元分析軟件ANSYS對一種硅基微麥克風(fēng)進(jìn)行了系統模擬。
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