The minimum FWHM for (0002) and (1012) XRD rocking curves of these films were 410 arcsec and 1321 arcsec, respectively.

　
英 美
  • 其(0002)和(1012)面X射線(xiàn)搖擺曲線(xiàn)半峰寬最小值分別達410弧秒和1321弧秒，為當前文獻中硅(111)襯底上制備的氧化鋅薄膜的最小值。
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