The microprobe,approaching example surface in tap mode until several tens nanometers to surface,generates inclination because of atom force.

 
  • 微探針以輕敲式接近樣品至幾十納米時(shí),受原子力作用發(fā)生偏轉,利用雙頻干涉模塊度量其縱向偏轉量,并對樣品進(jìn)行梳狀式度量得到外觀(guān)形貌。
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