The linearly coaxially coupled microwave plasma CVD device is a new microwave plasma CVD device bringing an axial extended plasma cylinder through a microwave antenna.

 
  • 線(xiàn)形同軸耦合式微波等離子體CVD裝置是一種利用微波天線(xiàn)產(chǎn)生軸向分布的等離子體柱的新型微波等離子體CVD裝置。
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