The kinetics of the electrode reaction is preliminarily studied by linear potential sweep technique and electrochemical impedance while electrodepositing Ni for high aspect ratio structures.

 
  • 采用線(xiàn)性電位掃描和電化學(xué)交流阻抗等電化學(xué)測量技術(shù),對高深寬比掩膜條件下微電鑄鎳的電極反應動(dòng)力學(xué)過(guò)程進(jìn)行了初步研究。
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