The invention relates to a method for fabricating silicon quantum wires on an insulating layer, belonging to the field of micro-nano-electronics.

 
  • 本發(fā)明涉及一種制備絕緣層上硅量子線(xiàn)的方法,屬于微納電子學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。
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