The diamond films doped with boron were synthesized on the Si 3N 4 substrate by microwave plasma CVD method (MPCVD).

 
  • 采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積 ( MPCVD)的方法在 Si3N4 基片上制作了摻硼金剛石薄膜。
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