The UHV fast closing valve (FCV)is the key device for the vacuum interlock protection system of the beamlines at National Synchrotron Radiation Laboratory(NSRL).

 
  • 本文介紹了超高真空快速關(guān)閉閥是國家同步輻射實(shí)驗室光束線(xiàn)真空聯(lián)鎖保護和控制系統的關(guān)鍵部件。
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