Step height measurement instrument, was one of the LSI test equipment, and the step height signal can be acquired using LVDT transducer.

 
  • 大規模集成電路檢測設備之一臺階測量?jì)x是采用LVDT傳感器拾取信號的 ,其設計合理與否直接關(guān)系到儀器的測量精度。
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