Some proposals are put forward for solving deviation induced by surface roughness measuring in different surface spatial wavelength scope using optic profiler.

 
  • 對由光學(xué)輪廓儀不同帶寬限制內測量元件表面粗糙度有不同回應所引起不同偏差的解決辦法提出了幾點(diǎn)建議。
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