Reactive ion etching (RIE) process utilized to form giant magnetoresistive (GMR) spin valve sensing elements was investigated experimentally.

 
  • 對巨磁電阻自旋閥磁場(chǎng)傳感器制作中的關(guān)鍵技術(shù)之一:自旋閥薄膜的反應離子刻蝕(RIE)工藝,進(jìn)行了試驗研究。
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