Online correction of setup error using EPID in order to reduce systematic error and random error and then improve setup precision.

 
  • 在EPID系統下進(jìn)行實(shí)時(shí)擺位誤差糾正,可進(jìn)一步降低擺位系統誤差和隨機誤差,提高擺位精度。
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