Micro cantilever electromagnetic actuator is described.Numerical models about the magnetic force and displacement of the beam are established according to the electromagnetics principle.3.

　
英 美
  • 3.；建立了平面線(xiàn)圈磁場(chǎng)的數學(xué)模型；推導出電磁式微致動(dòng)器懸臂梁的變形與致動(dòng)器各個(gè)參數之間的關(guān)系；并進(jìn)行參數匹配。
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