Mechanical properties and wear resistance of NbN/TaN nanomultilayers[J].Journal of Vacuum Science and Technology, 2002,22 ( 1 ): 1 - 4.

　
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  • NbN/TaN納米多層膜的力學(xué)性能與耐磨性[J].；真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報；2002；22(1):1-4
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