MEMS technology is a new emerging technology, which introjects the microelectronic technology and the precision machine machining technology.

　
英 美
  • 微機電系統(MEMS)技術(shù)是一門(mén)新興的技術(shù),它將微電子技術(shù)和精密機械加工技術(shù)融合在一起,實(shí)現了微電子與機械的融為一體。
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