Lising KOH anisotropic wet etching technique to obtain the V-shape structure of fiber array.This technique apply precrision alignment to control undercut effective.

 
  • 利用KOH非等向性濕蝕刻技術(shù),得到光纖陣所需之V型凹槽結構,并配合精確對準光罩之應用,有效控制側蝕量,應用于光纖陣列晶圓制程技術(shù)。
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