It is found that the change of threshold voltage value fits in exponential law with absorbed dose, which is caused by the effect of space charge and interface charge.

　
英 美
  • 產(chǎn)生這種現象的原因是場(chǎng)效應管氧化物中的空間俘獲電荷與吸收劑量近似成線(xiàn)性變化，對閾值電壓變化和吸收劑量有近似線(xiàn)性的改變；
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