It consists of temperature senor, data acquisition unit, data processing software and computer control system.We also analyzed the data of the experiment of ion implantation.

 
  • 整個(gè)系統由測量靶和溫度傳感器、數據采集、計算機數據處理軟件以及控制系統組成,實(shí)現計算機測量系統的計算機控制,并達到比較理想的測量結果。
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