Introduce IC product development, issue for cleanroom energy saving. Finally introduced cleanroom temperature humidity and pressure controlling.

　
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  • 發(fā)言?xún)热菡攸c(diǎn)介紹集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢;潔凈室的節能;潔凈室的溫度濕度壓力的控制;及注意事項。
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