In this work, we compare the properties of as-deposited Cu films prepared using two different electroplating solutions: copper-hexafluoro-silicate (CuSiF6) and CuSO4.

 
  • 在此論文中,我們比較兩種電解液-硫酸銅及六氟矽化銅,所鍍出來(lái)銅膜之特性。
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