In this thesis, we provide a new .fabrication: using nanoparticles to fabricate erbium doped luminescence thin film.We mix nanoparticles and use spin coating process to deposit it on a silicon wafer.

 
  • 這篇論文提出新的制程方法:使用奈米粒子制作摻鉺發(fā)光薄膜,利用奈米粒子混合旋布玻璃并旋涂于矽基板上。
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