In this dissertation, experimental research and theoretical analysis on surface topography related to micromachine ubder background of MEMS is carried out.

　
英 美
  • 本研究以微機電系統為背景，針對與微摩擦密切相關(guān)的表面形貌問(wèn)題展開(kāi)實(shí)驗研究和理論分析。
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