In order to solve the problem of measuring the vacuum degree in vacuum packaged MEMS devices,crystal oscillator has been used as the sensor to measure the vacuum degree.

　
英 美
  • 為了解決MEMS器件真空封裝內部真空度測試難題,提出采用晶振作為傳感器來(lái)對內部真空度進(jìn)行測量,設計并研制了一套基于晶振傳感的真空度測量系統。
今日熱詞
目錄 附錄 查詞歷史
国内精品美女A∨在线播放xuan