In chapter 1, we make an introduction for Fin-FET and describe its evolution from conventional MOS device and propose a structure called Tri-Gate Fin-FET device.

　
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  • 第一章主要是針對鰭狀場(chǎng)效電晶體元件做一個(gè)簡(jiǎn)介，說(shuō)明鰭狀場(chǎng)效電晶體元件如何從傳統的金氧半元件演化而來(lái)，并提出一個(gè)三閘鰭狀場(chǎng)效電晶體元件。
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