Improve medium beam current implanter of EATON company of US gives off big beam current, to bring high speed mobility into actuality in production, speeding up technology process.

　
英 美
  • 標準注入參數的調整，以及實(shí)現高速注入所應采取的各種手段，盡量發(fā)揮離子注入機的潛能，使中束流注入機也可以注入大束流，在生產(chǎn)上實(shí)現高速機動(dòng)，加快了工藝流程。
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