Firstly, the relationship among the thickness of dark space, DC bias and electrode area under RF discharge is discussed.

 
  • 首先從射頻放電中的暗區厚度、DC偏壓及電極面積的關(guān)系,以及射頻濺鍍系統的阻抗匹配網(wǎng)路介紹。
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