FSG, as one kind of low k dielectric film, is very similar with SiO2 in structure and deposition, and can be well used in 0.18-0.13um ULSL.

 
  • 氟摻雜的氧化硅玻璃(FSG)作為低介電常數材料的一種,它的制備工藝、結構和性能更接近二氧化硅,足以滿(mǎn)足0.;18微米甚至0
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