By applying a voltage between the top and bottom electrodes,the microcantilever will bend and the outputs will be displacement and force,which acts as a microactuator.

 
  • 在外加集中力和載荷的情況下,可以產(chǎn)生表面感應電荷,借此測量外界力和壓力的大小,形成傳感單元。
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