Besides, by changing substrate as Ru or Pt/MgO, the RuO2 films will exhibit highly (200)-oriented films, no matter the O2 flow ratio, substrate temperature, and chemical bonding.

　
英 美
  • 將基板種類(lèi)由二氧化矽改成釕金屬/二氧化矽基板及白金/氧化鎂單晶基板，則二氧化釕薄膜呈現(200)優(yōu)選指向，不受氧氣流量比、基板溫度及表面化學(xué)鍵結的影響。
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