Analysis is made on thermally excited deflection and resonant frequency of the micromachined silicon resonant sensors.

　
英 美
  • 分析了硅微機械諧振式傳感器在熱激勵下的撓曲及諧振頻率變化，建立了相應的數學(xué)模型，并對熱撓曲靈敏度進(jìn)行了優(yōu)化設計。
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