Also introducing the application, development trend of MEMS and the application prospects of advanced IC manufacturing technology in MEMS production.

 
  • 同時(shí)介紹了微電子機械系統 (MEMS)的用途、發(fā)展方向及先進(jìn)的IC制造技術(shù)在MEMS生產(chǎn)中應用前景
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