According to the practical fabrication process of CSG, a comprehensive fabrication error model of CSG including alignment error, duty cycle error, depth error and stair slope error is built up.

 
  • 根據色分離光柵的實(shí)際制作過(guò)程建立了包含對位誤差、占空比誤差、刻蝕深度誤差、塌邊誤差等多種制作誤差的色分離光柵加工誤差模型。
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