Abstract: Amorphous hydrogenated carbon films have been deposited with benzene in an electron cyclotron resonance (ECR) plasma system.

 
  • 文摘:用苯作源氣體在一個(gè)微波電子回旋共振離子體系統中沉積了含氫非晶碳薄膜,研究了沉積參數對膜的生長(cháng)速率的影響。
今日熱詞
目錄 附錄 查詞歷史
国内精品美女A∨在线播放xuan