A patterned DLC thin film cath ode was fabricated by reactive -ion etching method and mic ro -fabrication technology.

　
英 美
  • 通過(guò)離子束技術(shù)和微細加工技術(shù)可以實(shí)現DLC薄膜的圖形化并能大大提高薄膜的場(chǎng)發(fā)射性能。
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