A numerical calculation of planar DC magnetron discharge with Particle-in-Cell/Monte Carlo Collision method is performed using the magnetic field related to a real magnetron target.

 
  • 當設計磁控靶表面的磁場(chǎng)一定時(shí),根據計算得到的磁極表面的磁場(chǎng)強度能夠得出需要采用磁性材料的強度。
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